Optec

Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
en
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567

Компания OPTEC собрала более 50 пользователей оборудования Raith на ежегодной встрече в Москве

Описание страницы

Компания OPTEC собрала более 50 пользователей оборудования Raith на ежегодной встрече в Москве

9 июня 2017 года в Москве состоялась уже традиционная встреча пользователей оборудования Raith: «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith: от идеи до реализации». В этом году она проходила на территории Научно-образовательного центра «Функциональные микро/наносистемы» МГТУ им.  Н. Э. Баумана (НОЦ ФМН), который оснащен 50 кВ установкой электронно-лучевой литографии Raith VOYAGER.

В 6-й встрече пользователей оборудования Raith приняли участие более 50 специалистов из университетов, институтов, научно-исследовательских центров и наукоемких производств Москвы, Санкт-Петербурга, Томска, , Великого Новгорода, Нижнего Новгорода, а также представители компании Raith GmbH (Германия) Мартин Кирхнер и Мартин Раше и Raith B.V. (Нидерланды) Жанин Вильберс, которые выступили с докладами о новейших разработках в области электронно-лучевой литографии.

Семинар открыли старший научный сотрудник ФГБУН ИСВЧПЭ РАН Ринат Галиев, директор НОЦ ФМН Илья Родионов и эксперт департамента научного и промышленного материаловедения компании ОПТЭК Кирилл Атласов. 

Системы Raith VOYAGER были установлены в ИСВЧПЭ РАН и НОЦ ФМН в 2013 и 2015 годах, соответственно, и являются базовыми приборами этих центров в разработках новых устройств СВЧ электроники, а также элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий.

С докладами о результатах работы и новых перспективах в области электронно-лучевой литографии выступили сотрудники МГУ им. Ломоносова, НИЯУ МИФИ, ИРЭ им. В. А. Котельникова, а также о последних новостях и усовершенствованиях установки электронно-лучевой литографии серии Raith EBPG 5150/5200 рассказала научный сотрудник Raith B.V. (Нидерланды) Жанин Вильберс

В рамках практической сессии участники обсудили актуальные технические задачи из практики применения электронно-лучевой литографии. По окончании мероприятия состоялась ознакомительная экскурсия к «чистым помещениям» НОЦ ФМН.


Смотрите также

x