Электронно-лучевая система Raith CHIPSCANNER

Производитель

Raith
Raith

Описание

Крайне значимой задачей в микро и наноэлектронике является входной контроль качества, контроль безопасности применения электронных компонентов и сохранение уникальных технологий снятых с производства интегральных схем, например, космических летательных аппаратов. В этих задачах необходимо распознать технологию интегральной схемы/чипа с максимально высоким пространственным разрешением по большой площади с учетом всех элементов топологии, как по площади, так и послойно. Результатом является топология в векторном формате CAD, отсканированная с исследуемого чипа. Сканирование чипов, таким образом, обеспечивает, как возможность досконально проанализировать структуру, так и возможность изготовления точного или модифицированного аналога. Топологические размеры существующих чипов таковы, что полезную информацию при сканировании можно получить исключительно высокоточным растровым (сканирующим) электронно-лучевым прибором, в котором достигается ультравысокое пространственное разрешение изображения, отсутствие дисторсий и неравномерностей по полю сканирования, а также точная сшивка полей сканирования. Такими характеристиками обладает уникальный прибор Raith CHIPSCANNER.

Теги